Rất được mong đợi: ASML chuyên sản xuất máy quang khắc dùng để khắc chip máy tính từ tấm silicon. Thực tế, tập đoàn Hà Lan này là liên doanh công nghệ châu Âu có giá trị cao nhất và hiện là nhà cung cấp duy nhất các máy in thạch bản cực tím (EUV) trên thế giới.
ASML đã công bố lô hàng hệ thống EUV NA cao đầu tiên của mình cho Intel trong tuần này, chia sẻ một hình chụp của máy móc trên mạng xã hội. Công ty đang thực hiện đơn đặt hàng được thực hiện vào năm 2018, cung cấp cho nhà sản xuất chip Santa Clara một máy quét thí điểm được sản xuất sau một thập kỷ “kỹ thuật hệ thống và khoa học đột phá”.
Máy quét EUV NA cao sẵn sàng cách mạng hóa việc sản xuất chip trong vài năm tới, mang lại EUV cao hơn khẩu độ số (từ 0,33 đến 0,55) và thúc đẩy tiến bộ công nghệ không ngừng mà các xưởng sản xuất chip tiên tiến nhất trên toàn cầu đạt được. Các máy quét mới dự kiến sẽ đóng một vai trò quan trọng trong việc sản xuất các nút trên tiến trình 3nm, với các xưởng đúc chip nói trên có kế hoạch áp dụng các máy này vào năm 2025-2026.
Twinscan EXE:5000 thí điểm của ASML là một cỗ máy khổng lồ, cần 13 container cỡ xe tải và 250 thùng để vận chuyển. Sau khi được lắp ráp, máy quét sẽ cao ba tầng. Intel đã phải mở rộng một trong những nhà máy của mình gần Hillsboro, Oregon, chỉ để phù hợp với “con quái vật” này. Mỗi công cụ EUV NA cao dự kiến sẽ có giá từ 300 triệu đến 400 triệu USD.
Nhờ đơn đặt hàng sớm và máy quét thử nghiệm được xuất xưởng gần đây, Intel sẽ sớm có thể thử nghiệm công nghệ sản xuất EUV thế hệ tiếp theo do ASML hình thành trước bất kỳ ai khác. Công ty có thể sẽ có được lợi thế cạnh tranh so với các hãng sản xuất đối thủ (Samsung Foundry, TSMC), những hãng sẽ phải đợi nhiều năm để có được phiên bản cuối cùng của máy quét.
Tuy nhiên, việc áp dụng EUV NA cao sẽ không dễ dàng như việc nâng mức trần của một nhà máy sản xuất chip. Cả máy quét Twinscan EXE:5000 thí điểm và máy quét Twinscan EXE:5200 cấp thương mại – được Intel đặt hàng vào năm 2022 – sẽ yêu cầu những thay đổi đáng kể về cách thiết kế và sản xuất chip, liên quan đến các phương pháp, vật liệu, mặt nạ và công cụ kiểm tra mới.
Vào năm 2022, ASML tuyên bố rằng họ sẽ có thể lắp ráp 20 máy EUV NA cao mỗi năm vào năm 2027-2028. Công ty đã tồn đọng hàng chục đơn đặt hàng máy quét, cho thấy các xưởng đúc chip rất mong muốn nhận và lắp ráp các công cụ mới tại cơ sở của họ.